Feldemission...
Feldemission bietet eine Alternative zu konventionellen thermischen Kathoden, welche heutzutage immer noch Einsatz als Elektronenquellen in den meisten Anwendungen haben. Simulationen mit COMSOL Multiphysics® zeigen das Potential von Spitzen- und Kantenfeldemittern auf. Die Ergebnisse der Simulation zeigen einen vielfach höheren Feldüberhöhungsfaktor bei Emittern mit hohen Aspektverhältnissen.
... aus Silizium
Durch die Verbindung und Optimierung von reaktivem Ionenätzen mit gekoppeltem Plasma ist die Herstellung von verschiedenen Siliziumkathoden mit hoher Anisotropie und hohem Aspektverhältnis für Feldemissionsanwendungen möglich. Feldemissionsmessungen bestätigen die vorangegangenen Simulationsergebnisse. Außerdem weisen die Messungen eine deutliche Stabilisierung des Emissionsstromes auf. Der modifizierte Herstellungsprozess der Feldemitter ermöglicht somit einen zuverlässigen Betrieb bei kleineren makroskopischen Feldstärken.
... aus Galliumnitrid
Durch die physikalischen und chemischen Eigenschaften ist Galliumnitrid ein weiterer vielversprechender Kantidat für die Feldemission. Dieses Material wird zunächst planar mit der Metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) auf Sapphire aufgewachsen. Um Emitter herzsutellen ist anschließend eine trockenchemische und nasschemische Ätzung des Materials nötiggeeignete . Alternativ kann nach einer Maskierung eine weitere Epitaxie durchgeführt werden um Emitter zu erhalten.