- Bestimmung von verschiedenen Kohlenstoffmodifikationen mittels Ramanspektroskopie
- Untersuchung des Alterungsprozesses von SiC-haltigen Slurrys beim Sägen von Silizium für Solarzellen
- Grundsätzliche Untersuchungen zum Phänomen Zusammenklappen von 35 nm Strukturen mit großem Aspektverhältnis nach nasschemischer Behandlung
- Mikro-Raman zum Bestimmen von Stress auf strukturierten Siliziumscheiben
Kompetenzzentrum Nanochem. Nanoanalytik Und Halbleiterchemie
Analyse
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