Analyse

  • Bestimmung von verschiedenen Kohlenstoffmodifikationen mittels Ramanspektroskopie
  • Untersuchung des Alterungsprozesses von SiC-haltigen Slurrys beim Sägen von Silizium für Solarzellen
  • Grundsätzliche Untersuchungen zum Phänomen Zusammenklappen von 35 nm Strukturen mit großem Aspektverhältnis nach nasschemischer Behandlung
  • Mikro-Raman zum Bestimmen von Stress auf strukturierten Siliziumscheiben

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